ダイヤモンドモールドインプリント法によるオクチル酸金属塩膜のナノパターニング
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概要
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近年、強誘電体を応用した新しい電子デバイスを開発するために、微細加工技術を確立する研究が行われている。本研究では、ダイヤモンドモールドを用いたインプリント技術により強誘電性等を示す複合酸化物であるオクチル酸金属塩薄膜をパターン化し、熱処理で結晶化させ、強誘電体の微細パターンを形成する新しいパターニングプロセスについて検討した
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公益社団法人 精密工学会 | 論文
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