ダイヤモンド型ナノインプリント法によるマイクロ有機ELデバイスの試作
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
モールド材料に高硬度、耐摩耗性、低熱膨張の特性を有するダイヤモンドの適用を考え、開発した複合オクチル酸金属塩マスクを用いた電子ビームリソグラフィ技術によりダイヤモンドモールドの作製、ダイヤモンドモールドを用いたナノインプリントリソグラフィ技術の研究を行ってきた。その応用として有機膜のガラス転移温度の差に着目した2層膜に対するNILプロセスを提案し、マイクロ有機ELデバイスの作製を行い、発光させることができた。
- 公益社団法人 精密工学会の論文
公益社団法人 精密工学会 | 論文
- 微細エンドミル加工における切削負荷計測手法の開発
- フェムト秒レーザによるレーザピーンフォーミング : −薄板曲げ加工での照射条件と予備曲げの影響−
- 粉末焼結積層造形による透明部品の作製 : −屈折率調整されたエポキシ樹脂の含浸によるプラスチック粉末焼結積層造形品の透明化−
- 放射光用X線光学素子の形状計測技術
- 白色光干渉顕微鏡による表面トポグラフィ測定