ダイヤモンドモールド室温ナノインプリント法によるダイヤモンド膜のナノ加工(第2報):転写材料シロキサンポリマーによるナノインプリントリソグラフィ
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概要
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本研究ではSOGの一種であるオルガノシリカを用いて室温ナノインプリント(NIL)を行ってきたが、空気中の水分と反応しインプリントをする前に硬化し始めるので、高精度な転写が困難という問題がある。そこで、室温でも高粘性で高精度な転写が可能であり、また酸素プラズマに対しての耐性があると見込まれるシロキサンポリマーを用いたダイヤモンドモールド室温NIL技術によるダイヤモンド薄膜のナノ加工について検討した。
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公益社団法人 精密工学会 | 論文
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