磁性体被覆型砥粒を用いたガラスの平面ラッピングの基礎研究
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概要
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被覆型磁性砥粒を磁場を用いたガラス平板のマイクロ加工を行った。その結果、磁場を印加したほうが研磨能率は3倍になり、表面粗さは50%減少する事及び研磨能率に及ぼす研磨圧力、すべり速度及び砥粒添加率の影響を明らかにした。
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公益社団法人 精密工学会 | 論文
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