電磁的加工圧付加型形状転写装置による水晶ブランクの高能率仕上げ法
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概要
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本研究では,電磁石を用いた回転型バレル仕上げ装置を開発し,短時間で両面コンベックス型水晶片を製作することを研究の目的とする.前回報告した固定砥粒法と併用で電磁石を用いることで,前回の成果である20時間での完全な形状転写に比べ,65%の値である13時間で完全な形状転写を達成した.また,製作された水晶片の形状,表面粗さ,周波数特性を測定した結果,短時間での形状転写にも関わらず,優れた周波数特性が得られた.
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公益社団法人 精密工学会 | 論文
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