超音波振動を利用したリニアガイド用スクイ―ズ空気軸受に関する研究
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概要
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従来のスクイーズ軸受の多くは加振面上に物体を置き浮上させる形式のものであり、これを直動案内に応用する場合、細長いガイドウェイ全体を振動させなければならないという問題が生じる。そこで本論文では、浮上する軸受側に加振源（圧電素子）を接着した構造のスクイーズ空気軸受を提案する。この方式では、軸受を小型化することが容易であり、小さな密閉容器内で非接触案内を構成する場合などに有効と考えられる。また、超音波領域での軸受部材の固有振動を利用することで、従来のスクイーズ空気案内で問題となっていた騒音問題も解決することができる。本論文では、軸受の浮上特性を実験的、理論的に明らかにするとともに、非接触直動案内を実現できることを確認する。
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公益社団法人 精密工学会 | 論文
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