酸化チタン含有固定砥粒加工工具の性能評価
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概要
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固定砥粒研磨パッドの問題点であるスクラッチの発生を防ぐために、光触媒酸化チタンを含有した固定砥粒研磨パッドを作製し、その性能評価を行った。本研究では紫外線照射によって生じる光触媒作用を活用してパッド表面の樹脂を酸化·分解し、セルフドレス性を持たせることによりパッドの目づまりを防ぎ、メンテナンスフリーで連続研磨が可能な研磨パッドを開発した。
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公益社団法人 精密工学会 | 論文
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