発泡ウレタンの溝加工に関する研究
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概要
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CMP研磨パッドには、研磨率向上のために溝が形成されている。しかし、溝を形成する際に工具先端に生じる摩耗および研磨パッドに生じるバリが問題となっている。 高精度な研磨パッドの溝加工を実現するために本研究では、CMP用研磨パッドに溝加工を行なう際に生じる工具摩耗および研磨パッドに生じるバリについて、送り速度や回転数など切削条件を変化させ溝加工を行ない、切削抵抗および仕上げ面を観察し、摩耗やバリを抑制する条件の検討を行なった。
- 公益社団法人 精密工学会の論文
公益社団法人 精密工学会 | 論文
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