酸化銀マイクロ粒子を用いたナノ粒子その場生成による接合プロセスの開発
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概要
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酸化銀マイクロ粒子を用いたナノ粒子その場生成による金属接合プロセスを開発した。酸化銀マイクロ粒子を還元することによって、130～160℃でナノ粒子が生成することを確認した。また、そのナノ粒子が基材に対して接合温度160℃で金属的に接合することをHRTEM観察により明らかにした。
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