Development of laser-assisted inkjet printing technology:- Wiring technology to achieve high throughput and fine patterning simultaneously -
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
A new technology that can be easily adapted to various circuit designs and production in small lots has been requested in electronic device manufacturing where low cost device fabrication on large area is required. We have developed a laser-assisted inkjet printing technology which can achieve high throughput and fine patterning simultaneously. To realize fine patterning with low resistivity, ejected ink-droplets have been dried by laser irradiation to suppress expansion on a substrate, a problem often observed in a conventional inkjet process. Drawing of fine wiring with aspect ratio of 1 or above with line width of 10 μm or less has been achieved using this new approach. In this paper, the achievements of laser assisted inkjet printing technology is shown based on the needs that triggered this research and the solutions used to overcome the problems met during the R&D process.
- 独立行政法人 産業技術総合研究所の論文
独立行政法人 産業技術総合研究所 | 論文
- 科学技術政策と構成学、その具体化と価値への"つながり"
- だれでも構築運営できるコラボレーションシステムの実現―ｑｗｉｋＷｅｂを用いたコミュニケーション・パターンの実践―:－qwikWebを用いたコミュニケーション・パターンの実践－
- コンパクトプロセスの構築―高圧マイクロエンジニアリングと超臨界流体との融合―:－ 高圧マイクロエンジニアリングと超臨界流体との融合 －
- 正確性・コストパフォーマンスに優れた遺伝子定量技術の開発と実用化への取り組み―蛍光消光現象を利用した遺伝子定量技術の開発―:－ 蛍光消光現象を利用した遺伝子定量技術の開発 －
- Synthesiological approach in researches