インクジェット法によるＬＴＣＣへの銅電極の作製
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概要
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インクジェット法によるLTCCへの卑金属配線形成について検討した。水系のCuO含有インクジェット用インクを作製した。このインクをLTCC用グリーンシートにインクジェット法にて印刷した。印刷後の顕微鏡観察の結果，グリーンシートへの酸素プラズマ処理がインクのグリーンシートへの濡れ性向上に有効であることがわかった。X線光電子分光の結果，酸素プラズマ処理によりLTCC表面に親水基が増加することがわかった。CuOインク膜が印刷されたグリーンシートを積層し，3％H2-N2雰囲気で焼成した。XRDおよびEPMAより，CuOは焼成によりCuへと還元されることが明らかとなった。また，CuとLTCCの間の反応や拡散は見られなかった。焼成後の積層セラミックス内部のCuの体積抵抗率は約18 μΩ·cmであった。以上より，酸化物インクによるLTCC多層基板への卑金属配線描画の可能性が示された。
- Japan Society of Colour Materialの論文