A new method to distillate diffusion pump oil continuously in high vacuum.
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概要
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A continuous distillation of diffusion pump oil was carried out in high vacuum with a glass apparatus which is characterized by watching the final pressure continuously in course of the operation.<BR>The distillation rate of Di-2-ethyl-hexyl phthalate was 30 cc/hour at the final pressure 4×10<SUP>-6</SUP> mm Hg.
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一般社団法人 日本真空学会 | 論文
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