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概要
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Notes on the differential method of Leak detection using two pirani qauges is teseribed.<BR>Carbon deoxide, Buthane, Ether and Ethyl Alcohol as probe gases were trapped by a liquid air trap.<BR>Buthane was proved the best and the minimum detectable leak rate was 2x10<SUP>-3</SUP>μl/sec.
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一般社団法人 日本真空学会 | 論文
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