Analysis of grown-in defects in CZ-Si crystals using TEM.

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概要

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• 公益社団法人　日本顕微鏡学会の論文

公益社団法人　日本顕微鏡学会 | 論文

• 13th International Congress on Electron Microscopy
• Cathodoluminescence Detection System for Transmission Electron Microscope.
• Investigation of elemental distribution in a dielectric of DRAM.
• Coherent Bremsstrahlung Peaks in EDS Spectra
• Nanobiology of DNA

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