Electrodeposition of tungsten from EMPyrCl-ZnCl2 melts at 150ºC

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概要

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• Electrodeposition of tungsten has been achieved at 150°C, which is the lowest temperature to this day, by using a new molten salt (ionic liquid), N-ethyl-N-methylpyrrolidinium chloride (EMPyrCl)-ZnCl2. Metallic tungsten was electrodeposited on a nickel substrate by potentiostatic electrolysis at 0.01 V vs. Zn(II)/Zn in an equimolar EMPyrCl-ZnCl2 melt after adding KF and WCl4. A denser and smoother tungsten film was obtained by the same electrolysis condition when WCl6 was used as a tungsten ion source.

• 一般社団法人 日本MRSの論文

著者

• 新田 耕司

  住友電気工業株式会社 エレクトロニクス・材料研究所 金属無機材料技術研究部

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