Surface Temperature Measurement Using a Carbon Nanotube Probe

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概要

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• A new technique of micro/nanoscale temperature measurement is developed using an individual carbon nanotube (CNT) on a platinum hot-film, which can control the heat flow through the CNT probe and sense its own average temperature. A feedback control to extinct the heat flow enables us to neglect the effect of contact thermal resistance and to know the real surface temperature. Spatial resolution of 70 nm, temperature uncertainty of less than 0.5 K and enough robustness are achieved. Using this method, quantitative temperature profiles are obtained around a line heater of 604 nm-width and 9.73 μm-length.

著者

• 生田 竜也

  九州大学 大学院 工学研究院 航空宇宙工学部門

• 天野 樹生

  九州大学 大学院 工学府 航空宇宙工学専攻

• 廣谷 潤

  九州大学 大学院 工学府 航空宇宙工学専攻

• 西山 貴史

  九州大学 大学院 工学研究院 航空宇宙工学部門

• 高橋 厚史

  （独）科学技術振興機構 戦略的創造研究推進事業

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