SF6凝縮層のHeガス排気特性とJT-60 NBI用クライオソ-プションポンプへの応用
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概要
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Pumping characteristics of condensed SF6 layers for He gas have been measured in a small-size cryosorption pump. From the experimental results, He pressure dependence of the effective adsorption conefficient of He on condensed SF<SUB>6</SUB> layers is estimated with the aid of numerical simulation.<BR>In the next stage of developing a large-scale cryosorption pump, which is a modification of the cryopump of the JT-60 neutral beam injector (NBI), the experimental results and numerical simulations are used to control the pumping performance of the SF<SUB>6</SUB> layers on pumpmodules. The He pressures measured as a function of the He gas flow rate in the NBI chamber are in good agreement with the numerical calculations.
- 社団法人 プラズマ・核融合学会の論文
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