試作アルミナカップ電極によるヒ化インジウム中のケイ素および亜鉛の発光分光分析 : 半導体材料の発光分光分析に関する研究 (第6報)
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概要
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ヒ化インジウムの単結晶中におけるケイ素および亜鉛の挙動を確認するための発光分光分析溶液法を検討した.100mg以下の試料を高感度, 高精度で定量でき, かつ簡単に取り扱えるアルミナカップ電極を考案して, これによる定量条件を調べた.試料を硝酸で分解後, ニッケル溶液を加えて蒸発乾固し, これを塩酸で溶解して試料溶液とした.この溶液1m<I>l</I>をカップ電極に注入して低電圧コンデンサー弧光的放電で1分20秒露光することにより, 0.6μg/m<I>l</I>以上のケイ素および1μg/m<I>l</I>以上の亜鉛を6%以内の変動係数で定量できた.なお本研究により, 微量元素の輝線強度に及ぼす酸の種類と濃度の影響ならびに主成分元素の影響に関して二, 三の知見を得た.
- 社団法人 日本分析化学会の論文
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