CEMを用いた小型阻止電位型エネルギーアナライザーの試作
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概要
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A small 4-grid retarding-field electron-energy analyzer with a ceramic channel electron multiplier has been developed to analyze Auger and other species of secondary electrons emitted from solid surfaces. The analyzer sensitivity is considered to be approximately in the range of a few percent of a monolayer. The energy resolution obtained from the FWHM value of the elastic peaks in <I>N</I> (<I>E</I>) curves by Δ<I>E</I>/<I>E</I> was about 0.5 percent. The characteristics of this type of RFA would be sufficient for its application to the angular distribution measurement of Auger electrons from solid surfaces. The preliminary results obtained with a small band-pass filter type of RFA constructed to get higher S/N ratio have also been described.
- 日本真空協会の論文
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