オージェ電子分光へのマイクロ・コンピュータの応用
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概要
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A data acquisition system including a micro-computer was applied to the Auger electron spectroscopy (AES) system with a retarding field analyzer. Improvement of S/N of Auger spectrum was effectively made by averaging methods which could eliminate not only the random noise but also the pulsive noise occurred unexpectedly. The normalization of data by the electron current of incident beam was also made simultaneously on the averaging process and this led to the high reproducibility of experimental results. The method of curve-fitting developed specially for our purposes was useful to determine the Auger peak height precisely.
- 日本真空協会の論文
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