真空ポンプ油の気体溶解について
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概要
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The solubilities of gases in various vacuum pump oils, such as Apiezon-C, Myvane, Octoil-S, Lion-A and Silicon (Heraeus- for ultra high vacuum), have been measured by the gas dissolution method between 20° and 150°C in the pressure range of 10 to 760 Torr. The dependence of solubility on temperature and pressure is given by <I>L</I>=<I>kp</I><SUP>n</SUP> <I>e</I>- <I>Q</I>/<I>RT</I>. When air dissolves in oils, <I>n</I> is nearly equal to unity, but for other gases (H<SUB>2</SUB>, O<SUB>2</SUB>, N<SUB>2</SUB>, Ar) it shows various value from 0. 6 to 1. The temperature coefficients of these solubilities are all positive and heat of dissolution in synthetic oil is lower than in fractional, distilled mineral oil.
- 日本真空協会の論文
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