ヘリウム再放出絶対量測定装置
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概要
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An experimental system for the absolute measurements of He re-emission has been constructed. It mainly consists of a quadrupole mass spectrometer and specimen annealing equipments which connect to a 300 keV ion beam accelerator, and its operation can be controlled by a computer. Its constitution and performances, and examples of experimental results are reported. For the purpose of investigating the factors which inhibit blister formation or promote gas re-emission, He re-emission from single crystals and alloys has been measured during specimen annealing after irradiation with 100 keV<SUB>e</SUB><SUP>+</SUP> ion beam. By using an electron gun heater, a specimen can be annealed from room temperature to 2, 000K at a stepwise rate of 50 K/min. Almost all of the implanted helium can be detected over the fluences of 2 × 10<SUP>13</SUP> to 1 × 10<SUP>17</SUP> ions/cm<SUP>2</SUP>.
- 日本真空協会の論文
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