油拡散ポンプを用いた金属製超高真空装置について
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概要
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The characteristics of bakable metal ultra-high vacuum system using two oil diffusion pumps in series are presented. The construction of each parts in vacuum system : indium valve, liquid nitrogen trap with chevron baffle, freon baffle, metal sealed flange and etc are described in part I. The back diffusion of gas molecules against oil vapour streams from low vacuum side to high vacuum one is studied and effects of the degassing on final vacuum are discussed in part II. As the back diffusion using helium gas, the compression ratio <I>P</I><SUB>f</SUB>/<I>P<SUB>O</SUB></I> (<I>P</I><SUB>f</SUB> : fore vacuum pressure, <I>P<SUB>O</SUB></I> : high vacuum pressure) at different boiler in puts 430W, 540W are respectively 4.3 × 10<SUP>3</SUP> and 3 × 10<SUP>4</SUP>. The ultra-high vacuum system has attained to the pressure of 10<SUP>-10</SUP>mmHg.
- 日本真空協会の論文
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