Fe4N/Fe多層膜の構造と磁気特性 (ナノメ-タコンポジット材料)
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概要
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Magnetic properties of iron nitride thin films as well as Fe<SUB>4</SUB>N/Fe multilayered films prepared by a reactive plasma deposition method have been investigated. The Fe<SUB>4</SUB>N single phase was produced under P<SUB>N2</SUB>=4mTorr, substrate temperature=above 300°C and output power of r.f. generator=above 300W.<BR>The multilayered films consisting of Fe/Fe<SUB>4</SUB>N/Fe as well as Fe<SUB>4</SUB>N/Fe/Fe<SUB>4</SUB>N were deposited by control-ling the plasma power. The saturation magnetization of the multilayered films mainly depended on the thickness of the Fe layers. The coercive force of the films was greater than that of the Fe single phase because of nitrogen from the Fe<SUB>4</SUB>N layer was diffused into the Fe layer. The film, of a small coercive force of 29 Oe, containing little nitrogen in the Fe layer was made when the deposition rate of the iron in the Fe<SUB>4</SUB>N/Fe/Fe<SUB>4</SUB>N multilayered film became speeded up.
- 社団法人 粉体粉末冶金協会の論文
著者
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平塚 信之
埼玉大学 大学院理工学研究科
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杉本 光男
帝京技術科学大学情報学部文化情報学科
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平塚 信之
埼玉大学 工学部
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福井 重充
埼玉大学 工学部
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藤田 実
埼玉大学 工学部
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杉本 光男
帝京技術科学大学
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杉本 光男
帝京技術科学大学 情報工学科
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