窒化アルミニウムを用いたガスセンサー
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概要
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A gas sensor was prepared by calcining rhodium nitrate supported on aluminium nitride at various temperatures in a N<SUB>2</SUB> stream. The sensitivity of the gas sensor increased linearly with CO gas concentration below 3000 ppm at 180°C and 220°C, while addition of rhodium nitrate over 3 wt% was not effective. The sensor calcined at 1000°C was twice as sensitive as that calcined at 600°C. Rhodium nitrate decomposed to RH<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB> at 600°C and to Rh at 1000°C in N<SUB>2</SUB> stream. From these results, Rh was better than RH<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB> as a catalyst. The apparent porosity of the gas sensor was about 50% and this value was kept constant after annealing. It is considered that aluminium nitride is a good material as a support.
- 社団法人 粉体粉末冶金協会の論文
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