不純物添加によるIII-V族化合物の無転位結晶成長
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概要
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Dislocation-free InP and GaAs crystals have been grown by a liquid encapsulationtechnique by means of an impurity doping procedure. It was found that grown-indislocations were diminished, when a certain kind of impurities was added into themelt from which crystal was pulled.<BR>Impurity effect on grown-in dislocation density was examined for Zn, S and Te inInP, and for Zn, S, Te, Al and N in GaAs. It was found that these impurities wereeffective for reducing grown-in dislocation density, except for Zn in GaAs.<BR>Effectiveness of impurity for reducing the grown-in dislocation density was ascribedto strength of bonds formed between the substitutional impurity atoms and host crystalatoms surrounding the impurity atoms.
- 日本結晶学会の論文
著者
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松井 純爾
NEC 研究開発グループ
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渡辺 久夫
日本電気(株)基礎研究所
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松井 純爾
日本電気 (株)
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渡辺 久夫
日本電気 基礎研
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関 保夫
日本電気 (株) 中央研究所
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渡辺 久夫
日本電気 (株) 中央研究所
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松井 純爾
日本電気 (株) 中央研究所
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