電子線源と結晶観察法の進歩

元データ 日本結晶学会

概要

Electron source has recentlymade a remarkable progress with respect to brightness and monochromaticity. Especially the resolution of micro-probe devices such as SEM and STEM has greatly improved by field emission electron beam. In addition, coherent optics (e. g. holography) has just been introduced into the field of electron optics.

著者

外村 彰 (株) 日立製作所基礎研究所,科学技術振興事業団
外村 彰 日立中研
外村 彰 (株) 日立製作所中央研究所

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