隙間材入りガラスディスク研磨スラリーの開発 : ―脂肪酸塩の研磨性能に対する効果―
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
ガラスディスク研磨におけるコストダウンと加工精度向上を目的として, セリアスラリーに脂肪酸塩を添加したところ, 研磨性能が向上する事が判明した. これを基に, 隙間剤入り研磨スラリー (ISM研磨スラリー) を提案した. 研磨性能は, 研磨レートが約50%向上, 微小うねりが約40%低減, ガラスディスク表面の付着物量が約5分の1となった.
論文 | ランダム
- 北海道における経済の現状と対策 (特集 景気浮揚対策と地域振興)
- シクロヘキサン類を用いる水素貯蔵輸送 (特集 ケミカルを利用した水素輸送)
- Photo-detrapping of solvated electrons in an ionic liquid
- レーザーアブレーションによる球形ナノ粒子合成とその応用 (微粒子「球形」化のための合成・調整技術とその用途展開)
- 粉体ナノテクノロジーの進展 レーザーアブレーションによるナノ粒子合成