隙間材入りガラスディスク研磨スラリーの開発 : ―脂肪酸塩の研磨性能に対する効果―
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概要
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ガラスディスク研磨におけるコストダウンと加工精度向上を目的として, セリアスラリーに脂肪酸塩を添加したところ, 研磨性能が向上する事が判明した. これを基に, 隙間剤入り研磨スラリー (ISM研磨スラリー) を提案した. 研磨性能は, 研磨レートが約50%向上, 微小うねりが約40%低減, ガラスディスク表面の付着物量が約5分の1となった.
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