半導体露光装置のステージ格子計測法
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
半導体露光装置のXYステージは, できるだけ理想的なステージ格子に近づける必要がある. しかし, ステージ格子を直接計測する方法がなかったため, 本論文は2次元最小2乗逐次2点法を応用したステージ格子計測法を提案した. 初めに計測原理を説明し, 次いで, マーク計測誤差を考慮した計測誤差のシミュレーション結果を示す. また, 本計測法を用いてステージ格子を改善した実験例を示す.
論文 | ランダム
- 高速応答TN形LCD
- 頭頸部領域の悪性腫瘍に対する超選択的動注療法
- 土地利用情報を用いた地域気温データの統一的モデル化
- 41052 建築・年の熱環境設計のための土地情報を用いた気温データのモデル化 : (その2)確率成分のモデル化
- 41051 建築・年の熱環境設計のための土地情報を用いた気温データのモデル化 : (その1)確定成分のモデル化