半導体露光装置のステージ格子計測法
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概要
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半導体露光装置のXYステージは, できるだけ理想的なステージ格子に近づける必要がある. しかし, ステージ格子を直接計測する方法がなかったため, 本論文は2次元最小2乗逐次2点法を応用したステージ格子計測法を提案した. 初めに計測原理を説明し, 次いで, マーク計測誤差を考慮した計測誤差のシミュレーション結果を示す. また, 本計測法を用いてステージ格子を改善した実験例を示す.
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