マイクロマニピュレータの相対位置姿勢同時計測技術
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概要
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近年, MEMS技術は様々な高機能微小構造体を提供することが可能となっており, これらの高機能微小構造物をウェハから取り出して機能部品として活用することができれば, さらに応用範囲を拡張することが期待できる. そこで, MEMSを機能部品として扱うためのMEMSの位置姿勢同時計測技術の確立が重要であると考えている. そこで, 我々はMEMSの相対位置姿勢計測技術として近接共焦点位置姿勢同時計測手法を提案した. 本報では, 提案手法の原理確認及び精度検証を行い, その実用性について検証を行った.
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