表面張力が作用する微小構造物のPull-in現象とその解析解について
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概要
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This paper discusses the analytic solution of a simple model of the pull-in phenomenon on which the surface tension acts. We derived the analytic solution of the pull-in phenomenon, specifically, the dependence of the displacement on the applied voltage. We also discuss the properties of the pull-in phenomenon by use of this analytical solution.
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