ヘリコン波によるプラズマ生成
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概要
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A high-density plasma of about 10^<13>cm^<-3> is realized by using radio-frequency (RF) waves. It is experimentally shown that efficient coupling of RF power to a plasma is possible with helicon waves because of the good match between parallel phase velocity and electron thermal speed.
- 九州大学大学院総合理工学研究科の論文
- 1988-06-30
九州大学大学院総合理工学研究科 | 論文
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