材質の異ったリジターノコイルによるプラズマの生成
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概要
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An attempt to produce a pure ECR plasma is performed with an aluminium Lisitano coil. Plasma parameters obtained agree well with those of the plasma produced with a copper Lisitano coil. Sputtered-impurity atoms which are ejected from the surface of the aluminium Lisitano coil are found to be very few, compared with the copper Lisitano coil.
- 九州大学大学院総合理工学研究科の論文
- 1986-07-25
九州大学大学院総合理工学研究科 | 論文
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