特集2 : 研究解説 : バイブロスキャニング法による細穴内部形状測定
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概要
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特集 生産加工プロセスの先進技術マイクロマシニングにより加工された細穴の形状測定は，従来の形状測定手法の適用が困難である．この問題を解決するために振動触針を用いて電気的接触のデューティサイクルを検出し，これを指標として表面の凹凸を測定する新しい手法，パイプロスキャニング法を開発した．試作装置を用いた検証実験により，微小な測定圧で，高感度な測定が可能であることが確認され，ø200μmの穴の実測にも成功した．
- 2011-10-06
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