MEMS based thin film 2 GHz resonator for CMOS integration
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概要
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科研費報告書収録論文(課題番号：13305010・基盤研究（Ａ）（２） ・Ｈ１３～Ｈ１５／研究代表者：江刺, 正喜／ナノメートルの精度で動く分布型マイクロ・ナノマシン )
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