A method of determining acoustical physical constants for piezoelectric materials by line-focus-beam acoustic microscopy
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概要
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科研費報告書収録論文(課題番号：12450119・基盤研究（Ｂ）（２） ・Ｈ１２～Ｈ１４／研究代表者：櫛引, 淳一／ＵＭＳ技術を用いた超高周波ＳＡＷデバイス用単結晶基板表面の評価技術の開発)
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