マルチスロットアンテナを用いたECRプラズマCVD
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
An electron cyclotron resonance (ECR) plasma is produced with a mulutislot antenna, and the optimum conditions for preparation of MonC thin films are experimentally examined. Deposition of WO2 films is also attempted by sputtering of tungsten filaments, assisted with the ECR plasma.
- 九州大学大学院総合理工学研究科,Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu Universityの論文
- 1992-09-01
九州大学大学院総合理工学研究科,Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University | 論文
- LESによる水平環状空間内乱流自然対流の数値解析
- 固気混相自由噴流による伝熱面の***ージョン
- ストカスティックモデルを用いた固気混相自由噴流の数値解析
- 実験室系ソーラポンドに関する基礎的研究（風速の影響と水面の透明膜被覆や塩水濃度分布の効果）
- 環状流路内の層硫化現象に関する研究（第３報 両面加熱の場合）