研究プロジェクト「マイクロ／ナノスケール計測制御テクノセンタ ー」活動報告<研究成果報告>
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概要
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This report describes the outline and activities of the research project entitled by “Techno Center for Micro/Nano-Scale Control and Measurement”. The research group consists of twelve members, most of which belong to the Department of Mechanical Engineering, Saitama University. The research topics of each member are presented, followed by two articles on micro-scale fluid measurement and high-precision vibration isolation system.
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