超音波ダブルコアリングによるガラスディスクの加工
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概要
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磁気ディスク装置の記録媒体としてガラス製のディスク基板が用いられている。ガラスディスクを大量に生産するためには,難削材であるガラスを高精度かっ高能率に加工する技術が必要となる.そこで,本研究では,ダブルコアのダイヤモンドビット(2重円筒のダイヤモンドビット)によりガラスディスクの内径・外径を同時加工する方式を採用した.さらに,超音波スピンドルを用いて,回転する工具に超音波振動を送り方向に付加することで,研削抵抗を低減させた.その結果,チッピングの発生を抑制し,高品質な加工を実現することができた.
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 2013-09-05
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