InP基板上type-II InAs/GaSb超格子を用いた中赤外センサ(光部品・電子デバイス実装技術・信頼性,及び一般)
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概要
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中赤外センサの受光材料として注目を集めているtype-II InAs/GaSb超格子は、結晶成長には通常GaSb基板が使用される。GaSb基板は赤外領域での透過率が低く、2次元センサアレイのような基板裏面から受光するセンサの作製にはGaSb基板の除去という困難な工程が必要になる。我々は、透過率が高くGaSbとの格子不整合が比較的小さいInP基板に着目した。InP基板上にGaSbバッファ層を厚く成長した後、InAs/GaSb超格子を成長することで、格子不整合に起因する貫通転位が低減し、結晶学的および光学的特性の優れた超格子を得られることを見出した。InP基板上InAs/GaSb超格子を用いて初めてセンサを作製した。InP基板上センサは有望であると考えられる。
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 2013-08-22
著者
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