F-67 クリーンルーム内の粒子挙動解析技術 : (第1報)空気イオンの数値予測
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概要
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We examined the numerical simulation of air ion supplied for diselectrification in a clean room for flat-panel display and film manufacturing processes. We newly have built in the equation of the ion transport the fluid analysis software. As a result, simulation of ion distribution became possible. About decrement of the ion density in the duct transportation, we compared the measurement result with a simulation result. The decrement of the ion density in the simulation result accorded with an experiment result well.
- 社団法人空気調和・衛生工学会の論文
- 2009-08-18
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