Alq_3膜上へのスパッタリング薄膜の作製とその発光効率への影響(発光型/非発光型ディスプレイ)

スポンサーリンク

概要

論文の詳細を見る
現在、有機ELディスプレイは液晶ディスプレイやプラズマティスプレイなどの他のディスプレイに対して、高コントラスト、高視野角、高速応答、薄型・軽量などの優れた特徴を持つことから、研究・開発が盛んに行われている。また、フレキシブルディスプレイや面発光照明などへの応用が期待されている。開口率を大きく取れるトップエミッション型の有機EL素子は、素子の構造上、有機膜上に透明導電膜を作製しなくてはいけないが、通常の成膜方法では有機膜に大きなダメージを与えてしまう。この有機膜へのダメージは、素子の発光効率の低下や駆動電圧の上昇などの動作上大きな問題を引き起こしてしまう。今回、基板表面へのスパッタダメージを抑制するバイアス印加型スパッタ装置を用いて、有機膜上にスパッタリング薄膜を作製し、有機膜の発光効率の観点からスパッタダメージの評価を行った。
2013-01-17

著者

関連論文

もっと見る

スポンサーリンク