6pTD-13 薄膜の潤滑特性における膜厚依存性(粉流体・流体,領域11)

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概要

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• 一般社団法人日本物理学会の論文
• 2002-08-13

著者

• 伊藤 伸泰

  東大院工

• 湯川 諭

  東大院工

• 村上 輝好

  東大院工

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