1306 半導体結晶表面における弾性波伝搬の大規模分子動力学シミュレーション(OS13.フォトニック・フォノニック構造の設計とシミュレーション(2),OS・一般セッション講演)

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概要

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• Acoustic-wave propagation on semiconductor surface is studied by numerical simulation based on the molecular dynamics (MD) method. We investigate the effect of crystallographic anisotropy, finiteness of thickness of crystal slab, and the presence of defects on the wave propagations. Based on these analyses, we attempt to design atomic-level surface structure of Si for a surface acoustic-wave filter and lenses.

• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2011-10-08

著者

• 鶴田 健二

  岡山大・院・自然

• 藤森 和博

  岡山大・院・自然

• 薬師川 裕貴

  岡山大・院・自然

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