D131 半導体デバイスの高速最適温度制御に関する研究(OS-7:電子機器冷却における熱流動現象(3))
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概要
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Efficient optimal control scheme for transient temperature profile in micro devices has been developed based on the adjoint equation of one-dimensional heat conduction in solid layers. Surface heat flux applied with a thin-film heater is employed as the control input in order to minimize temperature changes of a thin active layer embedded in a modeled laser diode. The present feed-forward control scheme provides the optimal heat input, of which magnitude is predominant prior to the onset of a laser pulse. Both in numerical simulations and MEMS-based experiments, the temperature variation during the laser emission can be successfully suppressed by more than 60 % with the present control.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2011-10-28
著者
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