誘電体基板測定用平衡形円板共振器法の測定可能範囲に関する検討
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概要
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同軸励振平衡形円板共振器法は、マルチ共振モードを用いることにより誘電体基板の垂直方向の複素誘電率の周波数依存性を測定できるため、最近よく利用されている。本報告では、周波数、試料厚さ、比誘電率、誘電正接に関してそれらの測定可能範囲について検討する。その結果、本測定法は、3〜110GHzの周波数範囲、0.05〜2mmの試料厚範囲、1.1〜10の比誘電率範囲、0.0001〜0.2の誘電正接範囲に対して測定可能な結論を得た。
- 2012-11-14
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