4.固体物性からみたレーザーアブレーション(レーザー生成プラズマの新しい温度,密度領域における物性とシミュレーション)
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概要
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三次元微細加工や非熱加工など,他の加工法にはない独特の加工技術としてフェムト秒レーザーアブレーションが注目を集めているが,その基礎的な物理過程はほとんどわかっていないのが現状である.また,フェムト秒レーザー照射は非常に短い時間(〜100fs)で非常に高いエネルギー(〜10^9J/cm^3)を微小な領域(〜1μm^3)に注入できる唯一の手法であることから,局所的に高温度・高密度状態を生成する手段として利用できる可能性もある.そこで,本章では,フェムト秒レーザー照射によって自発的に固体表面に形成されるレーザー誘起ナノ周期構造や,フェムト秒レーザー照射による物性改質,また,フェムト秒レーザー照射によって誘起される衝撃波と,それに伴う残留応力について,最近の研究成果を紹介するとともに,これらの結果からレーザー生成プラズマの新領域開拓についての展望を述べる.
- 2013-07-25
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