熱物性顕微鏡による多層膜めっきの熱浸透率の測定(システムの信頼性・信頼性一般)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
電子部品の良品解析では,非破壊で欠陥を検査する方法として,X線透過検査や赤外線サーモグラフィー,膜の厚さを測定する方法として蛍光X線分析などを使用している.しかし,これらの方法では、数μmオーダーの微小領域の測定や,多層膜を構成する各層の性状などの同定か困難であった.本報告では,熱物性顕微鏡を利用して多層膜めっきの熱物性評価を試み,その有効性について検討したので紹介する.
- 2011-06-10
著者
関連論文
- 日本溶射協会関東支部2009年度第3回講演会報告 : 2010年3月5日(東京都大田区)
- 電子ビーム物理蒸着法による遮熱コーティング技術の開発
- アルミ電解コンデンサの短期試験方法に関する考察(システムの信頼性,信頼性一般)
- 銀の接触抵抗特性に及ぼす硫化水素による腐食の影響
- 大気環境を考慮した電気・電子機器の劣化診断技術
- 1705 電子ビーム照射による表面微細構造と熱伝達特性(OS17. 電子デバイス・電子材料と計算力学(1),オーガナイズドセッション講演)
- 熱物性顕微鏡による多層膜めっきの熱浸透率の測定(システムの信頼性・信頼性一般)
- 日本溶射学会関東支部2011年度第1回講演会報告
- LSI構造解析によるトラブル未然防止に関する研究 : 発電プラント用電子部品の信頼性向上に向けた取り組み(電子・電気機器の信頼性,故障解析,劣化診断,信頼性一般)
- ジャンクション温度変化によるLEDの劣化診断(電子・電気機器の信頼性,故障解析,劣化診断,信頼性一般)