B212 ナノインプリントにおけるUV硬化樹脂の温度依存性に関する研究(固液相変化を伴う伝熱現象IV)

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概要

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• High time-resolution flow measurement of curing process by UV is performed by micro-DHPTV system. The photo-curable resin is packed between the glass plate and the covered glass. The measurement is performed during two seconds; the measurement time is covered for the curing time. The theoretically curing time is estimated from the irradiation flux of UV source. Moreover, photo-curable resin with the changing of temperature is measured to evaluate dependence of temperature. Consequently, the three-dimensional displacement can be obtained by the movement of the tracking particles. The displacement is dominant at the depth direction. The value is in good agreement with the theoretical displacement from UV irradiation flux. Moreover, it is found that the photo curing of the displacement appears to be proportional to increasing the temperature.

• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2009-11-06

著者

• 海野 徳幸

  東京理科大学基礎工学研究科電子応用工学専攻

• 谷口 淳

  東理大

• 佐竹 信一

  東理大

• 金井 高弘

  東理大

• 米本 幸弘

  東理大

• 海野 徳幸

  東理大

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