低バイアス・高光入力動作に適したComposite Field MIC-PDの提案と実証(量子効果デバイス(光信号処理、LD、光増幅、変調等)と集積化技術、一般「材料デバイスサマーミーティング」)
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概要
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Maximized Induced Current Photodiode(MIC-PD)は所望の光吸収層厚におけるキャリア走行時間を最小化することにより受光感度と帯域のトレードオフ関係を最適化したことを特徴とするフォトダイオードである。本報告では、空間電荷効果による周波数特性の劣化を改善するために複合電界を導入したComposite field MIC-PDの低バイアス・高光入力動作について検討した。素子径φ19um、受光感度0.8A/Wの裏面入射型PD素子を作製し、周波数特性のバイアス依存性と光入力パワー依存性を評価した。その結果、逆バイアス電圧2V、平均光電流4mAの低バイアス・高光入力下において、35GHz以上の3dB帯域が得られることを確認した。
- 2010-06-18
著者
-
吉松 俊英
日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所
-
村本 好史
日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所
-
石橋 忠夫
NTTエレクトロニクス株式会社
-
横山 春喜
日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所
-
児玉 聡
日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所
-
村本 好史
Nttフォトニクス研究所
-
重川 直輝
日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所
-
吉松 俊英
Ntt未来ねっと研究所日本電信電話株式会社
-
吉松 俊英
Nttフォトニクス研究所
-
村本 好文
日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所
-
吉松 俊英
日本電信電話株式会社nttフォトにクス研究所
-
児玉 聡
Ntt フォトニクス研
-
重川 直輝
Ntt フォトニクス研
-
横山 春喜
日本電信電話株式会社
-
村本 好史
Ntt フォトニクス研
-
重川 直輝
日本電信電話株式会社
-
石橋 忠夫
Nttエレクトロニクス
-
横山 春喜
日本電信電話
-
重川 直輝
大阪市立大学大学院工学研究科
-
吉松 俊英
日本電信電話株式会社NTrフォトニクス研究所
-
村本 好史
日本電信電話株式会社NTrフォトニクス研究所
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